| 发明名称 |
Method of forming a buried plate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2344215(B) |
申请公布日期 |
2003.10.08 |
| 申请号 |
GB19980025779 |
申请日期 |
1998.11.26 |
| 申请人 |
* SIEMENS PLC |
发明人 |
PAUL * WENSLEY;GUENTHER * KOFFLER |
| 分类号 |
H01L27/108;H01L21/225;H01L21/28;H01L21/334;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L27/108 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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