| 发明名称 |
RESIST RESIN, RESIST RESIN COMPOSITION, AND PROCESS FOR PATTERNING THEREWITH |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1004936(B1) |
申请公布日期 |
2003.10.08 |
| 申请号 |
EP19980937790 |
申请日期 |
1998.08.12 |
| 申请人 |
SHOWA DENKO K K |
发明人 |
NAMBA, YOICHI;TAKAHASHI, HIROSHI |
| 分类号 |
C08G77/442;C08L83/04;C08L83/10;G03F7/039;G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/075;C08L33/04 |
主分类号 |
C08G77/442 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
