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发明名称 METHOD FOR FORMING A PATTERN AND A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP1350264(A1) 申请公布日期 2003.10.08
申请号 EP20020729593 申请日期 2002.01.10
申请人 KIM, KI-BUM 发明人 KIM KI-BUM
分类号 B82B3/00;H01J37/317;G03F1/16;G03F7/20;H01J37/26;H01L21/027;H01L21/263;H01L21/28;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/04;H01L29/06;H01L29/12;H01L29/76;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/263 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人
主权项
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