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发明名称 FUNCTIONAL THIN FILM
摘要
申请公布号 AU2003221150(A1) 申请公布日期 2003.10.08
申请号 AU20030221150 申请日期 2003.03.26
申请人 JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION;ASAHI DENKA CO., LTD. 发明人 TAMOTSU TAKAHASHI;KIYOSHI MUSHA;KOICHI SAKAMAKI;YOSHIKAZU SHOJI
分类号 H01L51/50;C07C15/38;C07C17/16;C07C17/266;C07C17/357;C07C25/22;C07C43/164;C07C67/317;C07C67/347;C07C69/76;C09K11/06;H01L51/00;H01L51/30;H05B33/14;(IPC1-7):C09K11/06;H05B33/22 主分类号 H01L51/50
代理机构 代理人
主权项
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