| 发明名称 | 表面检查方法及表面检查装置 | ||
| 摘要 | 一种表面检查方法，它包括：在具备受光部和受光偏振角变更部件的表面检查装置中，利用上述受光偏振角变更部件改变受光偏振角，接受来自涂有标准粒子的基片表面的散射反射光的步骤，和在受光输出的S/N比变为最大的状态下设定受光偏振角，进行表面检查的步骤。 | ||
| 申请公布号 | CN1447411A | 申请公布日期 | 2003.10.08 |
| 申请号 | CN03128610.0 | 申请日期 | 2003.03.27 |
| 申请人 | 株式会社拓普康;富士通株式会社 | 发明人 | 矶崎久;山崎伦启;吉川浩;神酒直人;前川博之;高桥直弘 |
| 分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 崔幼平;杨松龄 |
| 主权项 | 1.一种表面检查方法，在具有受光部和受光偏振角度变更部件的表面检查装置中，该方法包括：利用上述受光偏振角变更部件改变受光偏振角，接受来自涂有标准粒子的基片表面的散射反射光的步骤，和在受光输出的S/N比变为最大的状态下设定受光偏振角进行表面检查的步骤。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||