发明名称 OPTICAL BROAD BAND ELEMENT AND PROCESS FOR ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 AU2003226726(A1) 申请公布日期 2003.10.08
申请号 AU20030226726 申请日期 2003.03.27
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 ANDREY, E. YAKSHIN;IGOR, VICTOROVICH KOJEVNIKOV;FREDERIK BIJKERK;ERIC LOUIS
分类号 G02B1/10;G21K1/06 主分类号 G02B1/10
代理机构 代理人
主权项
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