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发明名称 Method of fabricating integrated semiconductor devices comprising a chemoresistive gas microsensor
摘要
申请公布号 EP0822578(B1) 申请公布日期 2003.10.08
申请号 EP19960830436 申请日期 1996.07.31
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 VILLA, FLAVIO;FERRARI, PAOLO;VIGNA, BENEDETTO
分类号 B81B1/00;B81C1/00;G01N27/12;H01L21/764;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/762;G01L9/00 主分类号 B81B1/00
代理机构 代理人
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