发明名称 SUBSTRATE HOLDER
摘要
申请公布号 JPH04325679(A) 申请公布日期 1992.11.16
申请号 JP19910124703 申请日期 1991.04.26
申请人 VACUUM METALLURGICAL CO LTD 发明人 NAGASE MICHIO;HAYASHI CHIKARA
分类号 C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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