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发明名称 Ion beam irradiation apparatus and method of igniting a plasma for the same
摘要
申请公布号 GB2380314(B) 申请公布日期 2003.10.08
申请号 GB20020009404 申请日期 2002.04.25
申请人 * NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NARIAKI * HAMAMOTO
分类号 G21K5/00;G21K5/04;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/223;H01L21/265;H05H1/24;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
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