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发明名称 POLISHING PAD AND METHOD OF USE THEREOF
摘要
申请公布号 EP1349705(A1) 申请公布日期 2003.10.08
申请号 EP20010946399 申请日期 2001.06.15
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 KOLLODGE, JEFFREY, S.;MESSNER, ROBERT, P.
分类号 B24B37/04;B24D3/00;B24D11/00;H01L21/304;(IPC1-7):B24D11/00 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
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