| 发明名称 |
Grating element for filtering wavelengths d 100nm |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003212324(A8) |
申请公布日期 |
2003.10.08 |
| 申请号 |
AU20030212324 |
申请日期 |
2003.03.10 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
KLAUS HEIDEMANN;KARLFRIED OSTERRIED |
| 分类号 |
G21K1/06;G02B5/18;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G21K1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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