| 发明名称 |
Out-of-plane micro-device structures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1231182(A3) |
申请公布日期 |
2003.10.08 |
| 申请号 |
EP20020250726 |
申请日期 |
2002.02.01 |
| 申请人 |
XEROX CORPORATION |
发明人 |
FORK, DAVID K;CHUA, CHRISTOPHER L |
| 分类号 |
G03F7/20;B81B1/00;B81B3/00;B81C1/00;H01F17/00;H01F41/04;H05K1/16;H05K3/40;(IPC1-7):B81B3/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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