| 发明名称 |
FLOW PASSAGE DISTRIBUTION DEVICE, PSEUDO-MOVING FLOOR AND CONTINUOUS ADSORPTION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0611056(B2) |
申请公布日期 |
1994.02.09 |
| 申请号 |
JP19850270803 |
申请日期 |
1985.12.03 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YOKOYAMA NAOKI;IMAMURA KENICHI |
| 分类号 |
H01L29/68;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/20;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 |
主分类号 |
H01L29/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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