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经营范围
发明名称
ION IMPLANTATION METHOD
摘要
申请公布号
JPH06252082(A)
申请公布日期
1994.09.09
申请号
JP19930035932
申请日期
1993.02.25
申请人
NEC CORP
发明人
HANE MASAMI
分类号
H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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