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发明名称
DEVICE AND METHOD FOR LASER STRUCTURING FUNCTIONAL POLYMERS AND THE USES THEREOF
摘要
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Laserstrukturierung und Verwendungen in der Halbleiterproduktion dazu.</p>
申请公布号
WO2003080285(P1)
申请公布日期
2003.10.02
申请号
DE2003000791
申请日期
2003.03.12
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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