DEVICE AND METHOD FOR LASER STRUCTURING FUNCTIONAL POLYMERS AND THE USES THEREOF,申请号WO2003DE00791-传众专利搜索

发明名称	DEVICE AND METHOD FOR LASER STRUCTURING FUNCTIONAL POLYMERS AND THE USES THEREOF
摘要	<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Laserstrukturierung und Verwendungen in der Halbleiterproduktion dazu.</p>
申请公布号	WO03080285(A1)	申请公布日期	2003.10.02
申请号	WO2003DE00791	申请日期	2003.03.12
申请人	SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;BERNDS, ADOLF;CLEMENS, WOLFGANG;ROTH, HANS-KLAUS;SCHROEDNER, MARIO;STOHN, RALF-INGO	发明人	BERNDS, ADOLF;CLEMENS, WOLFGANG;ROTH, HANS-KLAUS;SCHROEDNER, MARIO;STOHN, RALF-INGO
分类号	B23K26/06;B23K26/40;H01L51/00;H01L51/40;H05K3/00;(IPC1-7):B23K26/06;G03F7/00;B23K26/08	主分类号	B23K26/06
代理机构		代理人
主权项
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