Phasenschiebermaske zur Bildung von Kontaktlöchern mit Mikroabmessung,申请号DE19951045163-传众专利搜索

发明名称	Phasenschiebermaske zur Bildung von Kontaktlöchern mit Mikroabmessung
摘要
申请公布号	DE19545163(C2)	申请公布日期	2003.10.02
申请号	DE19951045163	申请日期	1995.12.04
申请人	HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD.	发明人	AHN, CHANG NAM;KIM, HUNG EIL
分类号	H01L21/027;G03F1/00;(IPC1-7):G03F1/14	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
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