发明名称 Hubvorrichtung mit dreiecksförmigen Halteelementen
摘要
申请公布号 DE69719001(T2) 申请公布日期 2003.10.02
申请号 DE19976019001T 申请日期 1997.06.05
申请人 PRI AUTOMATION, INC. 发明人 WEISS, MITCHELL;FRIEDMAN, GERALD M.
分类号 B66D1/26;B66D1/54;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):B66F7/02;B66C11/04 主分类号 B66D1/26
代理机构 代理人
主权项
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