发明名称 |
Hubvorrichtung mit dreiecksförmigen Halteelementen |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE69719001(T2) |
申请公布日期 |
2003.10.02 |
申请号 |
DE19976019001T |
申请日期 |
1997.06.05 |
申请人 |
PRI AUTOMATION, INC. |
发明人 |
WEISS, MITCHELL;FRIEDMAN, GERALD M. |
分类号 |
B66D1/26;B66D1/54;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):B66F7/02;B66C11/04 |
主分类号 |
B66D1/26 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|