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发明名称 Poliermaschine zum Polieren der Umfangsfläche einer dünnen Scheibe
摘要
申请公布号 DE10193439(T1) 申请公布日期 2003.10.02
申请号 DE20011093439T 申请日期 2001.08.17
申请人 TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 发明人 HONDA, KATSUO
分类号 B24B9/06;B24B41/04;B24B47/12;(IPC1-7):B24B9/00;H01L21/304 主分类号 B24B9/06
代理机构 代理人
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