Mehrschichtige Susceptor für schnelle thermische Behandlungsreaktoren,申请号DE19966025545T-传众专利搜索

发明名称	Mehrschichtige Susceptor für schnelle thermische Behandlungsreaktoren
摘要
申请公布号	DE69625545(T2)	申请公布日期	2003.10.02
申请号	DE19966025545T	申请日期	1996.05.24
申请人	MOORE EPITAXIAL, INC.	发明人	MOORE, GARY M.
分类号	C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/48;C23C16/54;C30B25/02;C30B25/10;C30B25/12;C30B25/14;C30B31/12;C30B31/14;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/26;H01L21/324;H01L21/683;H01L21/687;H05B3/00;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
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