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<p>Eine Spuleneinrichtung umfasst eine Spulenleiterbahn (10), ein Halbleitersubstrat (50) und eine auf dem Halbleitersubstrat (50) angeordnete Dielektrikumschicht (60), wobei zumindest Teile der Spulenleiterbahn (10) über einer Ausnehmung (80) in der Dielektrikumschicht (60) angeordnet sind.</p> |
