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发明名称 Verfahren zur Überwachung von Stickstoffprozessen
摘要
申请公布号 DE10029286(C2) 申请公布日期 2003.10.02
申请号 DE20001029286 申请日期 2000.06.14
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 GAERTNER, THOMAS;LAMPRECHT, ALEXANDRA;OTTENWAELDER, DIETMAR;SCHULZE, JOERG
分类号 B05D1/00;B05D3/04;C23C16/00;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/469;H01L21/66;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/318 主分类号 B05D1/00
代理机构 代理人
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