| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Manipulation der Winkellage eines Gegenstands (1) gegenüber einer festen Struktur (4), in der der Gegenstand (1), insbesondere ein optisches Element in einem Objektiv für die Mikrolithographie eingebracht ist, um drei sich in einem Punkt schneidende Kippachsen (x, y, z). Der Gegenstand (1) kann auch in einem Tragrahmen (2) gefasst sein. Der Tragrahmen (2) mit dem Gegenstand (1) ist durch drei Anbindungsglieder (3a, b, c, …, n) mit jeweils drei Rotationsbeweglichkeiten und einer Translationsbeweglichkeit mit der festen Struktur (4) verbunden. Die Winkellage des Tragrahmens (2) ist durch jeweils eines der Anbindungsglieder (3a, b, c, …, n) um jeweils eine der drei Kippachsen (x, y, z) verstellbar.</p> |
