发明名称 Prüfvorrichtung
摘要
申请公布号 DE10196444(T1) 申请公布日期 2003.10.02
申请号 DE20011096444T 申请日期 2001.07.23
申请人 ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 KAWASAKI, YOSHITAKA;HASHIMOTO, YOSHIHIRO;TANAKA, HIRONORI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/30;G01R31/319;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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