GRATING ELEMENT FOR FILTERING WAVELENGTHS ≤ 100NM

摘要

Die Erfindung betrifft ein Gitterelement zum Filtern von Wellenlängen ≤ 100 nm mit einer Vielzahl von Einzelgitterelementen, wobei die Einzelgitterelemente Gitterli­nien, ergebend eine Gitterperiodizität, aufweisen. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Einzelgitterelemente in Rich­tung der Strahlen eines Strahlbüschels, das auf das Gitterelement auftrifft, hinter­einander auf einer gekrümmten Trägerfläche relativ zu der durch das Gitterele­ment aufgespannten Ebene angeordnet sind.