主权项 |
1.一种四舱连续式真空硬焊炉,包括:第一舱为一预热室;第二舱为一真空室,该真空室内部藉鲁氏泵浦抽真空至10-3毫巴(m bar),以真空泵浦将真空室内部维持于10-5毫巴(m bar)真空度;第三舱为加热室,其可产生高温、高真空度,其高真空度可藉数个扩散泵浦抽真空并维持于10-7毫巴(m bar);第四舱为冷却室,可藉鲁氏泵浦及真空泵浦,令第四舱之冷却室内部维持于10-5毫巴(m bar)真空度,于冷却室上及内部分别设有风扇及热交换器。2.如申请专利范围第1项所述之四舱连续式真空硬焊炉,其中于预热室的温度设定为400℃。3.如申请专利范围第2项所述之四舱连续式真空硬焊炉,其中于真空室上分别设有进氮气管与出氮气管。4.如申请专利范围第1.2或3项所述之四舱连续式真空硬焊炉,其中于冷却室上分别设有进氮气管与排氮气管。图式简单说明:第一图系本创作之平面示意图。 |