| 主权项 |
1.一种藉照射一电子束于一真空室中之一转上的碟片基材上而来制造一母碟的装置,乃包含:一射束源可发射一电子束;一会聚装置可将该电子束会聚于一碟片基材上;及一成形孔板设在该会聚装置中,而具有一开孔可成形该电子束的横截面,该开孔具有一第一内径系沿该碟片基材的径向伸展,乃一第二内径较短于该第一内径,而沿该碟片基材的切线方向伸展。2.如申请专利范围第1项之装置,其中该开孔的第一内径系在x<y≦3x的范围内,该x代表第二内径,而y代表第一内径。3.一种光碟,包含:一碟片基材;一平地及沟槽呈螺旋状或同心圆地设在该碟片基材上,而该沟槽具有一线宽乃沿该碟片基材的径向伸展;及预设凹坑等设在该平地或该沟槽上,而该各凹坑具有一内径沿该碟片基材的切线方向伸展;其特征在于该预设凹坑的内径较短于沟槽的线宽。4.如申请专利范围第3项之光碟,其中该沟槽的线宽系在v<h≦3v的范围内,该h代表线宽,而该v代表该预设凹坑的内径。5.如申请专利范围第4项之光碟,其中该预设凹坑的内径系在100nm至300nm的范围内。图式简单说明:第1图系本发明之使用电子束的母碟制造装置之一成形孔板的平面图;第2A与2B图各为一电子束照射在本发明之光碟基材上的射束形状之平面图;第3图为一方块图示出本发明之一使用电子束的母碟制造装置之构造;第4图为一成形孔板的开孔直径与一射束直径之间的相对关系之电流时间图;及第5图为一部份立体图乃示出本发明之一沟槽/平地型的光碟。 |
