发明名称 结晶之连续拉提方法及装置
摘要 本发明之目的在于提供一种结晶之拉提方法及装置,系在结晶成长之开始时能将晶种正确放下至熔融液之预定位置,而如一旦开始成长,则能连续性拉提的结晶之拉提方法及装置。本发明之结晶之连续拉提方法之特征为:使用直线拉提装置将晶种及在此前端成长之缎带状结晶往垂直方向拉提之后,使用能继续进行连续拉提的拉提机构将前述锻带状结晶进行连续性的拉提。本发明之结晶之连续拉提装置之特征为具备:具晶种及在此前端成长的锻带状结晶往垂直方向拉提的直线拉提装置、和把持前述锻带状结晶部分并进行连续性的拉提的拉提机构、和在使用前述直线拉提装置的晶种部分通过前述拉提机构后变换为使用前述拉提机构的连续性拉提的变换机构、以及将前述晶种部分与缎带状结晶部分切断的切断机构。
申请公布号 TW555894 申请公布日期 2003.10.01
申请号 TW089108082 申请日期 2000.04.28
申请人 荏原制作所股份有限公司 发明人 藤田健太郎;寺尾健二;矶崎秀之;佐藤岩
分类号 C30B1/00 主分类号 C30B1/00
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区博爱路八十号六楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路八十号六楼
主权项 1.一种结晶之连续拉提方法,其特征为:使用直线拉提装置往垂直方向拉提晶种及在此前端成长之缎带状结晶之后,使用能继续进行连续拉提的拉提机构将前述缎带状结晶进行连续性的拉提。2.一种结晶之连续拉提装置,其特征为具备:将晶种及在此前端成长的缎带状结晶往垂直方向拉提的直线拉提装置、和把持前述缎带状结晶部分并进行连续性的拉提的拉提机构、和在使用前述直线拉提装置的晶种部分通过前述拉提机构后变换为使用前述拉提机构的连续性拉提的变换机构、以及将前述晶种部分与缎带状结晶部分切断的切断机构。3.如申请专利范围第2项之结晶之连续拉提装置,其中前述直线拉提装置具备有调整晶种之位置的机构。4.如申请专利范围第2项之结晶之连续拉提装置,其中前述拉提机构具备有调整结晶之拉提位置的机构。5.如申请专利范围第2项之结晶之连续拉提装置,其中在连续性拉提前述缎带状结晶后,再设置切断该结晶的机构。图式简单说明:第1图表示本发明之第1实施形态之结晶拉提装置之晶种之拉提阶段的图。第2图表示第1图之缎带状结晶之连续拉提阶段的图。第3图表示本发明之第2实施形态之结晶拉提装置之晶种之拉提阶段的图。第4图表示第3图之缎带状结晶之连续拉提阶段的图。第5图表示本发明之第3实施形态之结晶之拉提装置的图。第6图表示依照以往之CZ法的结晶拉提装置的图。第7图表示依照以往之缎带状结晶之连续拉提装置图。
地址 日本