粘合机中的工作台结构及其控制方法

摘要

本发明涉及一种粘合机中的工作台结构，包括：一可移动地装在一粘合室中的板；安装到该板上的多组静电吸盘，用来提供支撑基板的静电力；多个真空孔，它们在该板中，位于静电吸盘周围，用来接收一真空力，吸附和支撑基板；和多个对准标记确定孔，它们在该板的周边内，用来确定对准所吸附基板的标记，由此通过采用具有与一正规DC电源相反极性的DC电源，更易于将基板与工作台分开。

主权项

1.一种粘合机中的工作台结构，其特征在于，包括：一可移动地装在一粘合室中的板；安装到该板上的多组静电吸盘，用来提供支撑基板的静电力；多个真空孔，它们在该板中，位于静电吸盘周围，用来接收一真空力，吸附和支撑基板；和多个对准标记确定孔，它们在该板的周边内，用来确定对准所吸附基板的标记。