有机EL元件的制造方法及装置

摘要

本发明涉及借助电磁感应加热，均匀且快速地加热装入了蒸镀原料的容器，得到生产率高，质量良好的有机EL元件蒸镀膜的方法。本发明的装置是这样的装置，即，在使容器中的有机EL元件用的有机材料(5)气化，并在成膜基片(6)上堆积后形成薄膜的有机EL薄膜蒸镀中，具备用借助电磁感应发热的材料构成的所述容器，以及为使该有机材料气化，将所述容器进行电磁感应加热的设备。另外，本发明是使用该装置的有机EL元件的制造方法。而且，也能够用由借助电磁感应发热的材料构成的所述容器(2)或代替它将由借助电磁感应发热的材料制成的填充材料装入容器(2)中。

主权项

1.一种有机EL元件的制造方法，将有机EL元件用的有机材料气化，并在成膜基片上堆积后形成薄膜，其特征在于，装入所述有机材料的容器的至少一部分由借助电磁感应发热的材料构成，通过电磁感应加热直接加热所述的容器，使所装入的有机材料气化。