用来混合加工材料的方法和装置

摘要

一种用来混合和供应加工材料方法和装置。这种方法和装置特别适用于超高纯度的化学药品的混合、磨料淤浆与用于半导体晶片抛光的其它化学药品的混合以及化学药品的高精度混合。该装置可以包括把加工材料供应给用静态混合器实施混合的混合子系统的分配子系统。该方法可以包括用分配子系统供应加工材料和在静态混合器中混合加工材料。

主权项

1.一种混合系统，其中包括：第一材料供应线；第二材料供应线；与第一和第二材料供应线下游流体连接的静态混合器；以及包括至少被置于第一和第二材料供应线之一上的第一流动控制装置、被置于静态混合器下游的第一传感器和包括根据第一传感器提供的传感器信号为第一流动控制装置提供控制信号的逻辑代码的控制器的程序控制系统。