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发明名称
A process for the fabrication of semiconductor devices having various buried regions
摘要
申请公布号
EP0809286(B1)
申请公布日期
2003.10.01
申请号
EP19960830280
申请日期
1996.05.14
申请人
STMICROELECTRONICS S.R.L.
发明人
PALMIERI, MICHELE;GALBIATI, PAOLA;VECCHI, LODOVICA
分类号
H01L21/265;H01L21/266;H01L21/74;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L21/824
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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