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发明名称 HYBRID PULSED VALVE FOR THIN FILM COATING AND METHOD
摘要
申请公布号 EP0719183(A4) 申请公布日期 1997.12.03
申请号 EP19950911138 申请日期 1994.09.06
申请人 MOBIUM ENTERPRISES, INC. 发明人 HAALAND, PETER D.
分类号 B05B7/02;B05B7/00;B05B7/08;B05B17/06;B05C5/00;B05D1/02;G03F7/16;H01L21/00;(IPC1-7):B05D1/02 主分类号 B05B7/02
代理机构 代理人
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