| 发明名称 | 有机铟化合物 | ||
| 摘要 | 本发明披露了含有两个大体积烷基的三烷基铟化合物，其为液态或者是易液化的固态并具有足够的蒸气压用于气相淀积过程，和使用这种化合物沉积含铟薄膜的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1445230A | 申请公布日期 | 2003.10.01 |
| 申请号 | CN03128657.7 | 申请日期 | 2003.01.17 |
| 申请人 | 希普雷公司 | 发明人 | D·V·谢奈－卡特哈特;R·L·小迪卡洛 |
| 分类号 | C07F5/00;C23C16/18;H01L21/306 | 主分类号 | C07F5/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 郭建新 |
| 主权项 | 1.一种式Bg1Bg2InR的铟化合物，其中Bg1和Bg2是每个具有至少三个碳的大体积烷基，R是(C1-C4)烷基，其中R和Bg1不同。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞 | ||