| 发明名称 |
Method of coating contact holes in MEMS and micro-machining applications |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2387026(A) |
申请公布日期 |
2003.10.01 |
| 申请号 |
GB20020007348 |
申请日期 |
2002.03.28 |
| 申请人 |
* ZARLINK SEMICONDUCTOR LIMITED |
发明人 |
BRIAN * MARTIN;JOHN * PERRING;JOHN * SHANNON |
| 分类号 |
B81B7/00;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
B81B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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