发明名称 单片式芯片清洗装置
摘要 一种单片式芯片清洗装置,此装置是由装置本体、一对上滚轮、一对下滚轮与滚轮驱动系统所构成。装置本体的具有一芯片入口与一芯片出口,且芯片出口设置于芯片入口的相对侧,其中装置本体内可供储存一溶液,且此溶液不会从芯片入口与芯片出口流出。一对上滚轮与一对下滚轮位于芯片入口与芯片出口之间,用于带动溶液流向一芯片的上表面与下表面,且一对下滚轮与一对上滚轮相距一段距离。滚轮驱动系统连接一对上滚轮与一对下滚轮,用以驱动一对上滚轮与一对下滚轮转动。
申请公布号 CN1445825A 申请公布日期 2003.10.01
申请号 CN02107193.4 申请日期 2002.03.14
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 梁明中
分类号 H01L21/302;B08B3/04 主分类号 H01L21/302
代理机构 北京集佳专利商标事务所 代理人 王学强
主权项 1.一种单片式芯片清洗装置,该装置至少包括:一装置本体,该装置本体的中央具有一芯片入口与一芯片出口,且该芯片出口设置于该芯片入口的相对侧,其中该装置本体内可供储存一溶液,且该溶液不会从该芯片入口与该芯片出口流出;一对上滚轮,该对上滚轮设置于该装置本体中,该对上滚轮位于该芯片入口与该芯片出口之间,用于带动该溶液流向一芯片的上表面;一对下滚轮,该对下滚轮设置于该装置本体中,该对下滚轮位于该芯片入口与该芯片出口之间,用于带动该溶液流向该芯片的下表面,其中该对下滚轮与该对上滚轮相距一段距离;一滚轮驱动系统,该滚轮驱动系统连接该对上滚轮与该对下滚轮,用以驱动该对上滚轮与该对下滚轮转动。
地址 台湾省新竹科学工业园区力行路16号