包括－需要电极化的热电物质层的热释传感器的制造方法

摘要

本发明涉及一种制作多个热释传感器的方法，它通过在硅薄片(18)的一个表面上形成一薄的热电物质层(8)，为了限定形成该传感器的象素(4)，在该硅薄片(18)上，在下电极(10)和上电极(6)之间的层上装备一个电极化。为了在象素两电极之间发生短路时保护硅薄片，装备了与下电极或者上电极串连的电阻(36)，以便至少通过用于产生电极化的子组件在电极之间将它们连接起来。一旦产生了电极化，连接上电极或者下电极的电连接(28)被除去，以便允许每一个象素在传感器工作时提供一个基本电信号。为了最小化短路风险和降低电极的寄生电容，将象素的上电极和下电极结构化。当在硅薄片的整个平面中突出的连接轨道交叉时，该交叉点(40)最好设计在电极(6，10)和相应的电阻(36)之间。

主权项

1.多个热释传感器的生产方法，该方法在一个限定了一个总的平面(42)的共同的薄片(18)特别是硅薄片上形成一个薄热电物质层(8)，由多个象素(4，54)构成的每个传感器通过一个自身的第一电极和第二电极(10)限定了每一个传感器，第一电极位于所述的热电物质层的一个表面上，第二电极位于该层的另一个表面上，该方法的特征在于，还至少包括下面的连续步骤：A)在多个传感器的至少一个第一电极的子组件之间形成电连接(28，30，72)，以便将第一电极连接到至少一个电接触极板(32)上，并且形成电阻(38，70)，该电阻设置成使所述的至少一个子组件的每个第一电极与该电阻中的一个串连连接；B)通过在所述的至少一个电接触极板和所述的相应于所述的至少一个第一电极的子组件的象素的第二电极之间施加电压，对在第一电极和第二电极之间的所述的热电物质层进行极化；C)至少一个传感器的所述的第一和/或者第二电极彼此之间电绝缘。