| 发明名称 |
Inductive coil assembly for plasma processing apparatus |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2387023(A) |
申请公布日期 |
2003.10.01 |
| 申请号 |
GB20030015895 |
申请日期 |
1998.12.17 |
| 申请人 |
* TRIKON HOLDINGS LIMITED |
发明人 |
PAUL GEORGE * BENNET |
| 分类号 |
H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
