摘要 |
<P>Procédé et dispositif de formation de motifs dans une couche de résine photosensible par insolation laser continue, application à la fabrication de sources d'électrons à cathodes émissives à micropointes et d'écrans plats de visualisation.<BR/>Selon l'invention, on forme des faisceaux lumineux focalisés (41), on effectue au moins une translation relative, à vitesse et puissance lumineuse constantes, de ces faisceaux par rapport à la couche (22) pour insoler des lignes de cette couche, chaque ligne recevant une dose de lumière inférieure à celle qui est nécessaire au développement de la résine, on effectue une rotation relative de l'ensemble des faisceaux par rapport à la couche, on recommence la translation pour insoler d'autres lignes, chaque autre ligne recevant une dose de lumière complémentaire de la précédente et on développe la résine.</P>
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