薄膜气体传感器

摘要

本发明公开了一种薄膜气体传感器，包括：二片相同材料的衬底，其中一片衬底的一表面有一凹槽，带有凹槽的表面镀有无序型膜系。另一片衬底的二表面为平面，其任一平面镀有无序型膜系，在二无序型膜系之间的二侧边缘粘有特种微米小球粘胶，使其固接成一体，中间为样品室。凹槽内外的高度差分别对应二个不同的带通峰位，将其中的一个带通峰位设计至待检气体的特征吸收峰，另一个带通峰位设计在特征吸收峰附近的非吸收区作为参考峰位，利用气体吸收引起的透射峰强度的相对变化来实现气体含量的检测。本发明的薄膜气体传感器的最大优点是可以针对任何一种已知特征吸收峰的气体进行设计，使得响应具有唯一性，同时该传感器还具有灵敏度高、响应快、选择性好、重复性好、寿命长等优点，大大弥补了传统气体传感器各种性能不能兼顾的缺点。

主权项

1.一种薄膜气体传感器，包括：二片相同材料的衬底(1)，其特征在于：其中一片衬底的一表面有一凹槽(2)，带有凹槽的表面镀有无序型膜系(3)；另一片衬底的二表面为平面，其任一平面镀有无序型膜系(3)；在二无序型膜系(3)之间的二侧边缘粘有特种微米小球粘胶(4)，使其固接成一体，中间为样品室(5)；所说的凹槽(2)深度为：λ_长为二个带通峰位中较长波段的那个带通峰位的波长，λ_短为二个带通峰位中较短波段的那个带通峰位的波长，其中m、n为整数；所说的特种微米小球粘胶(4)为高分子聚合物材料，其直径略大于一般取为宜；所说的无序型膜系(3)是由低折射率的氧化物(302)与高折射率的氧化物(301)交替叠层12次构成的，每一膜层的厚度是随机涨落的层厚。