| 发明名称 |
Plasma processing apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2381375(B) |
申请公布日期 |
2003.10.01 |
| 申请号 |
GB20020011307 |
申请日期 |
2002.05.17 |
| 申请人 |
* ULVAC INC |
发明人 |
KIPPEI * SUGITA;KOUJI * KAGA;TOSHIO * HAYASHI;WEI * CHEN |
| 分类号 |
H01L21/3065;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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