发明名称 制造适合于图象传感器的半导体装置的方法
摘要 在制造适合于图象传感器的半导体装置的方法中,在一衬底上形成一下部绝缘层之后在该下部绝缘层上形成一结合区。接着,在该衬底上形成一上部绝缘层以覆盖该结合区。该上部绝缘层被有选择地去除以露出该结合区的顶部部分。随后,在该衬底上形成一保护层。在该保护层上形成若干滤色元件之后,形成一平面层以覆盖这些滤色元件。最后,在平面层形成上若干微透镜。
申请公布号 CN1445816A 申请公布日期 2003.10.01
申请号 CN02124421.9 申请日期 2002.06.26
申请人 东部电子株式会社 发明人 金载甲
分类号 H01L21/00;H01L27/146;H04N5/335 主分类号 H01L21/00
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 王敬波
主权项 1、制造适合于图象传感器的半导体装置的方法,该方法包括以下步骤:在一衬底上形成一下部绝缘层;在该下部绝缘层上形成一结合区;在该下部绝缘层上形成一上部绝缘层以覆盖该结合区;有选择地去除该上部绝缘层以暴露该结合区的顶部部分;在该上部绝缘层上形成一保护层以保护该结合区的暴露部分;在该保护层上形成多个滤色元件;形成一平面层以覆盖这些滤色元件;以及在该平面层上形成多个微透镜。
地址 韩国汉城