用于电子成象的受光部件及其制造方法

摘要

一种电子成象受光部件，包括一个导电的支承件和一个具有形成在所述支承件上的光电导层的受光层，所述光电导层由主要由硅原子和包括至少一个氢原子和一个卤原子的非单晶材料构成，并含有原子百分比10到30的氢，从至少所述的光电导层的光入射部分处的光吸收频谱得到的指数尾特征能量为50meV－60meV，在光电导层中的局部化状态密度在1×10¹⁴cm^－3－1×10¹⁶cm^－3。

主权项

1.一种电子成象受光部件，包括一个导电的支承部件和一个具有呈光电导性的光电导层的受光层，所述光电导层形成于所述导电的支承件上，并由主要包括一个硅原子和含有至少一个氢原子和一个卤原子的非单晶材料构成；其中在所述的受光层中的充电性能的温度依赖性在±2V/度之内。