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发明名称 Baffle for a capacitive pressure sensor
摘要
申请公布号 EP1340971(A3) 申请公布日期 2003.10.01
申请号 EP20030012375 申请日期 2000.09.08
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 POULIN, JAMES;HINKLE, LUKE D;GRUDZIEN, CHRIS P
分类号 G01L9/12;G01L19/06;(IPC1-7):G01L19/06;G01L9/00 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
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