电子源、采用它的成象器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种具有以阵列形式排列的表面传导型电子发射元件和与之串联的非线型元件的电子源，具有该电子源的成像器，以及它们的制造方法和所述电子源的驱动方法。所述制造方法中表面传导型电子元件的激发形成处理步骤用经由与薄膜串联并具有非线性电压-电流特性的非线性元件对形成电子发射部分的薄膜加一电压的方法来进行。

主权项

1.一种制造电子源的方法，所述方法包括下列步骤：a)提供一其上具有行向布线、列向布线的衬底、多个薄膜元件，和多个具有二极管特性的非线性元件，其中，多个非线性元件中的每一个与多个薄膜元件中的每一个串联，以及所述多个各与所述非线性元件串联的薄膜元件以矩阵形式排列在所述衬底上，所述矩阵形式的各行中与非线性元件连接的各薄膜元件连接在各个列向布线和一个行向布线之间，而所述矩阵形式的各列中与非线性元件连接的各薄膜元件连接在各行向布线和一个共用的列向布线之间；以及b)通过选定的行向布线、列向布线以及连接在所述选定的行向和列向布线之间的非线性元件施加电压，进行激发形成处理，以在各薄膜元件上形成一个电子发射部分，从而产生一个表面传导型电子发射元件；其中，在步骤b)中，与连接在所述选定的布线之间的薄膜元件以外的薄膜元件串联的非线性元件防止形成电压加到与之串联的薄膜元件上。