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发明名称
摘要
申请公布号	JP2003529082(A)	申请公布日期	2003.09.30
申请号	JP20010571119	申请日期	2001.03.08
申请人		发明人
分类号	G01R31/28;G01R31/30;G01R31/3185;G06F1/04;H01L21/822;H01L27/04;H03K3/03;(IPC1-7):G01R31/28	主分类号	G01R31/28
代理机构		代理人
主权项
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