| 发明名称 |
EQUIPAMENTO PARA PROCESSAMENTO POR PLASMA COM UMA PAREDE ELECTRICAMENTE CONDUTORA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PT1102305(E) |
申请公布日期 |
2003.09.30 |
| 申请号 |
PT19990402845T |
申请日期 |
1999.11.17 |
| 申请人 |
EUROPEAN COMMUNITY (EC) |
发明人 |
PASCAL COLPO;FRANCOIS ROSSI |
| 分类号 |
H05H1/46;B01J19/08;C23C14/34;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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