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发明名称
GATE DIELECTRIC AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号
AU2003220243(A1)
申请公布日期
2003.09.29
申请号
AU20030220243
申请日期
2003.03.12
申请人
MOTOROLA, INC., A CORPORATION OF THE STATE OF DELAWARE
发明人
RAMA, I. HEGDE;JOSEPH, C. MOGAB;PHILIP, J. TOBIN;HSING, H. TSENG;CHUN-LI, LIU;LEONARD, J. BORUCKI;TUSHAR, P. MERCHANT;CHRISTOPHER, C. HOBBS;DAVID, C. GILMER
分类号
H01L21/28;H01L29/51;(IPC1-7):H01L29/51
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
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