| 发明名称 |
METHODS FOR FABRICATING STRAINED LAYERS ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003222003(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.29 |
| 申请号 |
AU20030222003 |
申请日期 |
2003.03.14 |
| 申请人 |
AMBERWAVE SYSTEMS CORPORATION |
发明人 |
EUGENE FITZGERALD;MATTHEW CURRIE |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B29/52;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/337;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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