| 主权项 |
1.一种搬运机器人,系具备有:支承立柱,用以贯通 支持 板,同时轴承于此;共同框,支持于前述支承立柱;第 1 及第2中间柄,通过动力传达用之第1及第2中间轴构 造在 前述共同框以可旋转分别所连接;第1及第2前端柄, 通过 动力传达用之第1及第2前端轴构造在前述第1及第2 中间柄 之自由端部以可旋转分别所连接;动力传达用之第 1及第2 驱动轴,通过前述支承立柱内能到达前述共同框, 并轴承 于前述支承立柱;第1及第2上流侧传达装置,前述第 1驱 动轴及前述第1中间轴构造间,及前述第2驱动轴及 前述第 2中间轴构造间为了用以分别传达动力,配置于前 述共同 框内;第1及第2下流侧传达装置,前述第1中间轴构 造及 前述第1前端轴构造间,及前述第2中间轴构造及前 述第2 前端轴构造间为了分别用以传达动力在前述第1及 第2中间 柄内分别所配设;共同驱动源,通过前述支承立柱 为了用 以旋转驱动前述共同框,连接于前述支承立柱;第1 驱动 源,为了用以旋转驱动前述第1中间柄及第1前端柄, 支持 于前述支承立柱,同时连接于前述第1驱动轴;及第2 驱动 源,为了用以旋转驱动前述第2中间柄及第2前端柄, 支持 于前述支承立柱,同时连接于前述第2驱动轴。2.如 申请专利范围第1项之搬运机器人,系使前述共同 框 之旋转轴及前述第1中间柄之旋转轴之间的距离, 及前述 第1中间柄之旋转轴及前述第1前端柄之旋转轴之 间的距离 相等,又,使前述共同框之旋转轴及前述第2中间柄 之间 的距离,及前述第2中间柄之旋转轴及前述第2前端 柄之旋 转轴之间的距离相等。3.如申请专利范围第2项之 搬运机器人,系使前述共同框 之旋转轴及前述第1中间柄之旋转轴之间的距离, 及前述 共同框之旋转轴及前述第2中间柄之旋转轴之间的 距离相 等。图式简单说明:第一图系显示先前之半导体晶 片用搬 运机器人之平面图。第二图系显示先前之半导体 晶片用搬 运机器人之部分纵剖侧视图。第三图系显示有关 本发明之 一实施形态半导体晶片用搬运机器人之平面图。 第四图系 第三图所示搬运机器人之侧视图。第五图系显示 第三图所 示搬运机器人之处理部的内部构造图。第六图系 显示第三 图所示搬运机器人之驱动部的详细部分纵剖侧视 图。第七 图A-第七图R系显示第三图所示搬运机器人之动作 顺序图 。 |
